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主要技術指標
| 品名 | Si靶材 |
| 成分 | 單晶或多晶硅 |
| 外觀 | 銀灰色，片狀或管狀等其他形狀 |
| 純度% | 5N |
| 相對密度 % | ≥95% |
| 制造規格（m m） | Φ135* Φ151 * L254、Φ135* Φ150*L780、W430*L430*T8、W127*L237.2*T12 |
| 電阻率（mΩ?cm） | <0.02Ω?cm/1～3Ω?cm |
Si靶材
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